عنصر تسخين نيتريد السيليكون هو نوع مهم من السيراميك الهيكلي عالي الحرارة. لديها خصائص معامل التمدد الحراري المنخفض ، صلابة عالية ، معامل مرن عالي ، أداء درجة الحرارة الحرارية ، الاستقرار الكيميائي ، وخصائص الحافة الجيدة. وبالإضافة إلى ذلك، كما أنها مقاومة للأكسدة والتآكل. المزايا تجعل من المحتمل تطبيق. نيتريد السيليكون النقي لا يمتص طاقة الميكروويف في درجة حرارة الغرفة. وهو تقريبا مادة شفافة الميكروويف ويعتمد على فقدان عازلة الخاصة بها للتدفئة. كيفية تعزيز العينة لتسخين درجة الحرارة تلبد بشكل موحد هو المفتاح لتبدين. فقدان عازلة من السيراميك نيتريد السيليكون ليست فقط منخفضة جدا ولكن أيضا لا يتغير كثيرا مع درجة الحرارة، والتوصيلية الحرارية ليست جيدة. أثناء التدفئة، عينة تكسير وقوس أو المحموم المحلية ليس من المرجح أن يحدث.
استخدام عالية النقاء α-Si3N4 مسحوق كمادة خام، Al2O3، Y2O3 كما وسائل المساعدة التلبيد، إضافة كمية 1، واستخدام الكحول كوسيلة بعد خلط، طاحونة الكرة مع الكرة Al2O3 لمدة 24h، الجافة وتفريق، قبل الضغط على مسحوق مع ضغط 30MPa ومن ثم استخدام 200MPa الصحافة isostatically لتشكيل عينة من 24×12 (مم). استخدام 2.45GHz، 6kW فرن الميكروويف، ومعدل التدفئة 25 درجة مئوية / دقيقة. التلبد التقليدية يعتمد فرن الجرافيت التلبد بدون ضغط، ونظام إطلاق النار هو نفس التلبد الميكروويف، ويتم إطلاق كل منها في جو النيتروجين.
وبما أن فقدان γ-Si3N4 في الموجات الدقيقة صغير جدا في درجات حرارة منخفضة، فإن هناك حاجة إلى سي سي كعنصر تدفئة يمتص الموجات الدقيقة في درجات حرارة منخفضة. عندما تتجاوز درجة حرارة العينة درجة الحرارة الحرجة البالغة 1390 درجة مئوية ، فإنها ستمتص الموجات الدقيقة لتوليد الحرارة. وتظهر النتائج أن الموجات الدقيقة يمكن أن تحول المرحلة α إلى مرحلة β من α-Si3N4 بسرعة وكثافة. مقارنة ميكروجرافات الإلكترون المسح الضوئي من التلبد الميكروويف وعينات التلبيد التقليدية في 1750 درجة مئوية، تحت نفس الصيغة ونفس نظام التلبد ، هناك جزيئات ممدودة أكبر في مصفوفة المواد المغرضة بالميكروويف ، ونسبة وحجم الجسيمات من الجسيمات الممدودة كلاهما بالإضافة إلى ذلك ، لا تحتوي العينة التقليدية المغرضة على عينة تشبه الإبرة β-Si3N4 حتى لو تم الاحتفاظ بها عند 1725 درجة مئوية أثناء تلبد الميكروويف ، في حين أن التلبد التقليدي عند 1800 درجة مئوية لا يمكن الحصول على مثل هذا العدد الكبير من عينات β-Si3N4 الشبيهة بالإبر.
